一、设备基本参数

二、设备外观

三、设备尺寸和特点

等离子体材料工作站（ZH-1000）应用介绍

等离子体是物质电离后形成的特殊状态，主要由自由电子、离子、自由基和电中性分子 等组成。等离子体技术利用高能活性电子和高活性自由基等实现一些传统技术无法实现的物 化反应和材料合成，具有材料结构可控、组分可调、反应效率高等优点，可同时适用于薄膜 材料和粉体材料，是新兴的高端材料制备和改性技术。其可以作为单一技术实现材料的可控 制备和改性，亦可与其他材料合成技术结合形成新型的复合技术，具有使用灵活度高、组合 性强、通用性广等特点。等离子体技术适用度极广，可以应用于多种类材料的制备和改性， 如金属材料、金属化合物、无机硅酸盐、半导体材料、聚合物材料、无机单质、高分子材料 等。其采用的反应源种类繁多，涵盖气、固、液等成千上万种物质，具有反应多样性和复杂 性。综上所述，等离子体材料制备和改性技术是一种适用度广、通用性强的全学科、全行业 技术，其在材料化学、环保卫生、军事仿生、电子通讯、新能源等领域均具有重要的应用前 景。以下是本司等离子体装备和技术在材料化学领域（如二次金属离子电池、电催化剂、电 分析传感化学、电磁屏蔽、散热材料、医疗杀菌）的一些应用介绍。

 一、金属负极材料界面改性、结构优化和性能强化 

科研和产业背景：金属负极（锂、钠、钾、锌、镁）是下一代高比能金属电池的核心关键材料 问题和挑战：金属负极界面固态电解质层（SEI）不稳定，导致电池性能衰退 解决方案：采用新型等离子体技术在金属负极界面构筑高稳定人工 SEI 层 技术概况：本司设备可采用气-固-液多元等离子体技术在金属负极（锂、钠、钾、锌、镁）界面构筑稳定的、组分可调、厚度可控的各类型单一或组合人工 SEI 膜，如卤化物（氟、氯、溴、碘）、 氮化物、磷化物、碳酸盐、硫化物、氧化物、硒化物、锂合金以及有机化合物和无机-有机复合物等。 

（1）针对空气敏感、遇空气易氧化变质的锂、钠、钾等金属负极，本司设备配置可隔绝空气的 原位等离子体配件，可以避免空气敏感、易氧化物质与空气接触导致材料变质。采用本司研发的原位 等离子体装置，可以实现锂、钠、钾等金属材料在物料装样、等离子体反应、开舱取样等过程中不接 触空气，从而完成上述金属负极的原位等离子体界面物相改性，提升材料的界面稳定性和使用寿命等 性能。 

（2）针对空气稳定的锌、镁等负极，本司设备可直接在其界面构筑稳定的 SEI层。