ZH-1000等离子体材料工作站适用于金属化合物的等离子体掺杂改性，可实现氧化物、氮化物、硫化物、硒化物、磷化物、硼化物、氟化物、碳化物等材料之间的单一或多元的异质元素掺杂和改性。
应用实例-6：金属化合物的等离子体元素掺杂改性
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